2025-10-30
半導(dǎo)體潔凈室作為高精度制造環(huán)境，其中空調(diào)系統(tǒng)是保障生產(chǎn)工藝環(huán)境的核心基礎(chǔ)設(shè)施，需實現(xiàn)溫濕度精密控制、潔凈度穩(wěn)定維持、壓差精確調(diào)節(jié)及能耗有效管控等多重目標。系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)遵循《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB 50472)和SEMI標準，同時滿足半導(dǎo)體工藝設(shè)備的特殊環(huán)境需求。
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凈化工程公司
工信部備案號：